Hoʻolaha Mīkini Hoʻolālā 2C3-68 1946725 no Carter Excavator

He ala no ka hoʻomākaukauʻana i ka sensor ikaika, hōʻikeʻia e ka hoʻohālikelikeʻana i nā hana hou aʻe:

S1, hoʻolako i kahi wafer me kaʻaoʻao hope a me kahi papa mua; Ke hana nei i kahi'āpana piezoresnistrative a me kahi leka uila nui loa i kahi onthe ma mua o ke alo o ka waikawa; Ka hanaʻana i kahi kahe hohonu hohonu e e ana i kaʻaoʻao o ka wana;

S2, ke kau nei i kahi pale kākoʻo ma ke kua o ka wahee;

S3,ʻO nā hana alakaʻi alakaʻi a me nā mea hao ma mua o kaʻaoʻao mua o ka wafer, a me ka hoʻopiliʻana i nā kaula poki

S4, ka waihoʻana a me ka hoʻokumuʻana i kahi papa hana ma mua o ka wanaʻao, a wehe i kahi'āpana o ka hale papa. 2.ʻO keʻano hana o keʻano ikaika e like me ke koiʻana i ka 1, kahi e hoʻopili pono ai i kahi pale a me ka paleʻana o keʻano S12: Hoʻohanaʻia ka'ōlelo i loko o kaʻaoʻao mua o ka wafer, hoʻoikaikaʻia nā kaula ikaika, a he nui ka nui o nā'āpana pila; S13: Ka waihoʻana a me ka hoʻokumuʻana i kahi papa pale ma luna o kaʻaoʻao mua o ka waikawa; S14: Etching a me ka hoʻokumuʻana i kahi lua hohonu hohonu ma ke kua o ka wafer e hana i kahi kiʻiʻoniʻoni paʻakikī. 3

I ka makahiki 1962, tufte et al. Ua hanaʻo ia i kahi mea ikaika piezorestinive me nā kiʻi silini picorstinive pickorsistive a me nā kiʻi kiʻi kiʻi kiʻi no ka manawa mua, a hoʻomaka i ka noiʻi ma ka sensor ikaika. I ka wā i hala aku nei i ka makahiki 1960 a me ka makahiki 1970,ʻo ka hiʻohiʻona nui, ka hana nui i ka hana koʻikoʻi no ka hoʻomaikaʻiʻana i kaʻoihana koʻikoʻi. Mai ka makahiki 1980, me ka hoʻomohala houʻana o kaʻenehana micromachino e like me AnincOgraptionice etching, ua holomua ka manaʻo o ka sensor, a maikaʻi loa keʻano o kaʻike, I ka manawa like, a me ka hoʻomohalaʻana a me ka noiʻana o kaʻenehana micromachicy hou e hana i ka nui o ke kiʻiʻana i ka mānoanoa o keʻano ikaika.