Pili i ka heleʻana i ka wai-ral rail stick sindior -6e906051k

1.ʻO ke ala no ka hanaʻana i kahi sensor ikaika, e hoʻopiʻi ana:

Ka hoʻolakoʻana i kahi semiconductor substrate, kahi i hoʻopaʻaʻia ai kahi mea kūʻai aku ma mua o ka papa'āinaʻo Semiconductory.

ʻO kahi papa haʻahaʻa haʻahaʻa haʻahaʻa i loko o ka mea kūʻai mua ma mua, he electrode mua ma keʻano like me ka pā uila e like me ka papa eleele haʻahaʻa

Ka hoʻopiliʻana i nā papa;

Ka hoʻokumuʻana i kahi papa kaumaha ma luna o ka papa polar haʻahaʻa;

Ke hana nei i kahi papa uila o luna ma luna o ka papa mua o ka mea hoʻohana mua ma mua,ʻo kaʻaoʻao waena mua a me ka papa momi mua;

Ma hope o ka hoʻokumuʻana i ka papa morsifical a ma mua o ka hoʻokumuʻana i ka pā kiʻekiʻe, ma ka papa mua ma mua

Ke hana nei i kahi pūnāwai, a hoʻopiha i ka pilina me ka papa ma luna e pili i ka pā uila; A, paha,

Ma hope o ka hoʻokumuʻana i ka papa electrode kiʻekiʻe, e hoʻopili ana i nā hua lāʻau i hoʻokumuʻia ma ka papa electrode kiʻekiʻe a me ka papa waena mua

Ka hoʻokumuʻana i kahi papa hana e pili ana i ka pona o ka electrode kiʻekiʻe a me ka papa mua o ka hoʻopili muaʻana i ka pilina

Ma hope o ka hoʻopiliʻana i ka uila ma luna o ka papa kiʻekiʻe a me ka papa waena ma mua, e wehe ana i ka papa kaumaha e hana ai i kahi lua.

2.ʻO ke ala no ka hoʻokumuʻana i kahi sensor ikaika e like me ke koiʻana i ka 1, kahi i ka papa mua

ʻO keʻano no ka hoʻokumuʻana i ka papa makana ma kaʻaoʻao o ka mateverter canilectric e hoʻopili i nā hana i lalo

E waiho ana i kahi mea mālama kino ma luna o ka pāʻo Centereler ma mua;

E hoʻohālikelike ana i ka mea mālama kino e hana ai i kahi'āpana kaumaha.

3.ʻO keʻano no ka hoʻokumuʻana i keʻano o ke koʻikoʻi e like me ka hoʻopiʻiʻana i 2, kahi i hoʻohanaʻia ai ke kiʻi kiʻi kiʻi.

Hoʻopiliʻia ka papa hana ma keʻano o ke ola ma o ke kaʻina hana.

4.ʻO keʻano no ka hoʻokumuʻana i kahi sensor ikaika e like me ke koiʻana i 3, kahi e noho ai

ʻO ke kumuʻo Amorphous Carbon a iʻole Kelemania.

5

ʻO ke kahuaʻo Amorpous Gula;

Etching i nā mea i hoʻohanaʻia ma ke kaʻina o ka etching i ka mea mālama waiwai ma o ka morfic

ʻO nā'āpana i ke kaʻina o ka etching i ka moni wai'ālana:ʻo ka kahe o O2 he 18 SCCM ~ 22 ScCM ~ 22 sccm ~ 22 sccm ~ 22 sccm ~ 22 sccm ~ 22 sccm ~ 22 sccm ~ 22 sccm ~ 22 sccm ~ 22 sccm ~ 22 sccm ~ 22 sccm ~ 22 sccm.

ʻO ka neʻeʻana o nā kahe mai 90 sccm i ka 110 sccm, ke kahe o ka N2 i ka 90 sccm a me ka nui o Ar.

ʻO ka helu he 90 sccm ~ 110 sccm,ʻo ka nui o ka nui o 90 mory ~ 11 mortory ka mana

5409 ~ 660W.